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    循環冷卻水處理設備

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    超純水中氫氧自由基清洗晶圓表面的方法

    2021-12-02 14:46:13

     隨著國民生活水平的不斷提高和人們對產品性能的追求,我國電子行業消費需求升級。在利好政策、技術更新迭代加快和市場需求的驅動下,我國電子產品行業發展迅速,市場規模將進一步擴大。如何在眾多品牌中脫穎而出是眾多企業都在思考的問題,而產品的質量直接影響著企業的發展,這其中也包含生產用水。電子元件對生產用水要求十分嚴格,水質已成為影響電子元件產品質量、生產成品率及生產成本的重要因素之一。超純水設備廠家在電子元件生產中,超純水主要用作清洗用水及用來配制各種溶液、漿料,不同的電子元件生產用水對水質的要求也不同,因此大多企業都會選擇性價比較高的超純水設備。


     傳統的超純水制取工藝是采用陰陽樹脂交換設備,該工藝的缺點在于樹脂在使用一段時間以后要經常再生。隨著膜分離技術的不斷成熟,或是采用反滲透后面再經過EDI及拋光混床工藝來制取超純水,出水電導率可達18.2MΩ,滿足了電鍍涂裝行業的用水需求。超純水設備通常由石英砂過濾器、活性炭過濾器、阻垢劑、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,做到了無人值守,使該設備與其它同類產品相比較。 

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